培 育 學 校

中華科技大學

開 課 系 所

電機系

模組課程名稱

平面顯示器製程與光電應用實務

課 程 名 稱

半導體元件物理與製程

企業實習名稱

上 課 期 程

99學年第1學期

授 課 老 師

李昆益

師 資 來 源

■校內  □校外

職       稱

助理教授

上 課 地 點

中華科技大學電機系

授 課 時 數

27

教材來源

■購買教科書(書名: Semiconductor devices physics and technology,          作者： S.M. Sze  )  

□自編講義

課 程 大 綱/專 題 實作

§ 第一章    簡    介

第一部份    半導體物理

§ 第二章    熱平衡時的能帶及載子濃度

§ 第三章    載子傳輸現象

第二部份    半導體元件

§ 第四章　正－負接面

§ 第五章　雙載子電晶體及其相關元件

§ 第六章　金氧半場效電晶體及相關元件

§ 第七章    金半場效電晶體及其相關元件

§ 第八章    微波二極體，量子效應及熱電子元件

§ 第九章    光元件

第三部份　半導體製作技術

§ 第十章    晶體成長及磊晶

§ 第十一章    薄膜形成

§ 第十二章　微影與蝕刻

§ 第十三章　雜質摻雜

§ 第十四章　積體元件

培 育 學 校

中華科技大學

開 課 系 所

電機系

模組課程名稱

平面顯示器製程與光電應用實務

課 程 名 稱

半導體元件物理與製程

企業實習名稱

上 課 期 程

99學年第1學期

授 課 老 師

蕭俊卿

師 資 來 源

□校內  ■校外

職       稱

上 課 地 點

台灣大學奈米機電系統研究中心

授 課 時 數

21

教材來源

□購買教科書(書名: )  

■自編講義

課 程 大 綱/專 題 實作

• 第一章    實驗室簡介、一般手則與工業安全衛生
• 第二章    化學清洗槽
• 第三章    光阻塗佈機
• 第四章　光罩對準儀
• 第五章　高溫爐管
• 第六章　RIE反應離子蝕刻
• 第七章   PECVD電漿輔助化學氣相沉積
• 第八章   原子力顯微鏡
• 第九章   膜厚量測儀
• 第十章   表面輪廓量測儀

培 育 學 校

中華科技大學

開 課 系 所

電機系

模組課程名稱

平面顯示器製程與光電應用實務

課 程 名 稱

半導體元件物理與製程

企業實習名稱

上 課 期 程

99學年第1學期

授 課 老 師

翁聖賢

師 資 來 源

□校內  ■校外

職       稱

上 課 地 點

中華科技大學電機系

授 課 時 數

6

教材來源

■購買教科書(書名: 半導體製程概論  作者: 施敏•梅凱瑞)  

□自編講義

課 程 大 綱/專 題 實作

• 第一章    簡    介
• 第二章    晶體成長
• 第三章    矽氧化
• 第四章　微    影
• 第五章　蝕    刻
• 第六章　擴    散
• 第七章    離子佈植
• 第八章    薄膜沉積
• 第九章    製程整合
• 第十章    積體電路製造